作為一種超精密的非接觸式測量設(shè)備，雙頻激光干涉儀是現(xiàn)有測量方法中能做到在納米級測量精度的情況下保證大量程和高速度測量的方法。雙頻激光干涉儀采用外差干涉的方法進(jìn)行測量，將信號轉(zhuǎn)變?yōu)榻涣髁?，克服了普通單頻激光干涉儀存在測量信號直流漂移的問題，因此在超精密測量領(lǐng)域有著重要作用。

實(shí)際測量中，無論是雙頻激光干涉儀還是單頻激光干涉儀，都是以激光波長作為基準(zhǔn)的，而空氣中的激光波長是隨空氣的折射率變化的，空氣折射率又是隨溫度、壓力、濕度等因素而變化的。因此，環(huán)境溫度、壓力、濕度等參數(shù)的變化會(huì)對激光干涉測量精度產(chǎn)生影響，這種影響被稱為環(huán)境誤差。

環(huán)境誤差在激光干涉儀的系統(tǒng)誤差里面占據(jù)較大的比例，尤其是對于大量程測量。而影響環(huán)境誤差的幾個(gè)因素當(dāng)中，溫度影響較大，大約可達(dá)1ppm，即1米的量程，溫度變化1℃所產(chǎn)生的誤差大約為1000nm；其次是氣壓的影響，大約為2.7ppb，即1米的量程，氣壓變化1Pa所產(chǎn)生的誤差大約為2.7nm；至于濕度的影響則很小，幾乎可以忽略。

如果不對上述環(huán)境誤差進(jìn)行補(bǔ)償，干涉儀的測量精度是很難達(dá)到納米級的（尤其是大量程測量）。環(huán)境誤差的補(bǔ)償目前有直接法和間接法兩種。直接法主要是利用波長跟蹤器對空氣中的波長進(jìn)行實(shí)時(shí)測量；而間接法則是利用一些溫度壓力濕度傳感器測量出環(huán)境的溫度壓力等信息，利用經(jīng)驗(yàn)公式間接計(jì)算出實(shí)際的空氣折射率，常用方法有Edlen公式，它是目前用于干涉儀環(huán)境補(bǔ)償常用的方法。